基于新型MPCVD装置在面向等离子体部件表面制备金刚石薄膜及其性能研究

基于新型MPCVD装置在面向等离子体部件表面制备金刚石薄膜及其性能研究基于新型MPCVD装置在面向等离子体部件表面制备金刚石薄膜及其性能研究摘要：金刚石薄膜具有优异的物理、化学性能和独特的机械特性，在