PECVD低温沉积非晶硅锗及在PIN电池中的初步应用的开题报告

PECVD低温沉积非晶硅锗及在PIN电池中的初步应用的开题报告一、研究背景及意义非晶硅和非晶锗材料是重要的半导体材料，具有很好的光电特性和热稳定性，被广泛应用于太阳能电池、平面显示、光存储器、传感器等