集成电路制造工艺教学课件作者刘新彭勇蒲大雁主编第2章节硅衬底的制备课件

- 第2章 硅衬底的制备 - 本章学习目标：1.了解半导体材料的特点，以及半导体材料的分类。2. 掌握常用的半导体材料硅和锗。3.了解常用的化合物半导体材料。4. 掌握非