ASM固晶机工程师教材

一、目的：规范固晶机工程师日常工作，确保产品质量的提高及工作效率的提升。二、对象：固晶机工程师三、内容：1.机械构成及维修1.1芯片控制器：由芯片工作台和推定器组成芯片工作台主要由X、Y、θ马达和扩晶