zygo干涉仪gpi-xp-d使用说明

ZYGO干涉仪使用说明i.o目的制定本文件是为了详细说明如何使用ZYGO干涉仪测量平面、球面、柱面晶体元件的曲率半 径、面形（平行度、平面度）、以及透过波前畸变，并提高检验过程的准确性和可重复性。2.