等离子体工艺设备中用于解决寄生等离子体的结构及方法

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 114574837 A(43)申请公布日 2022.06.03(21)申请号 202210224150 .5(22)申请日 2022