改良西门子法制备多晶硅中的能耗和环境保护问题

- 一、序二、多晶硅制备的特点三、建设多晶硅项目要注意的几个问题 1、工艺选择和产品方案 2、建设周期和投资估算 3、综合利用和环境保护 4、热平衡和料平衡 5