金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状

万方数据2021年第40卷第2期 传感器与微系统(Transducer 刘 (吉林建筑大学电气与计算机学院，吉林长春130118) 摘要：介绍了气敏机理，总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的so。