气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的热环化研究

气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的热环化研究气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的热环化研究摘要：本研究采用气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜，并对其进行热环化过程进行研究。通过变化不同的制备条件，我们发现了对聚酰亚胺薄膜热