(完整版)集成电路工艺原理试题总体答案

目录 TOC \o "1-5" \h \z 一、 填空题（每空1分，共24分） 1二、 判断题（每小题 1.5分，共9分） 1三、 简答题（每小题 4分，共28分） 2四、 计算题（每小题 5分，共1