基于温和等离子体CVD的非晶硅薄膜的制备与钝化研究

基于温和等离子体CVD的非晶硅薄膜的制备与钝化研究论文：基于温和等离子体CVD的非晶硅薄膜的制备与钝化研究摘要：本文研究了基于温和等离子体化学气相沉积（PECVD）技术制备非晶硅薄膜的方法。采用不同的