层层组装制备低介电常数超薄膜

层层组装制备低介电常数超薄膜摘要本文主要介绍了一种制备低介电常数超薄膜的方法，即层层组装法。以聚乙烯亚胺（PEI）为模板分别搭载银纳米粒子和二氧化硅纳米粒子，形成多层膜。通过红外光谱、原子力显微镜、紫