半导体高纯多晶

- 一．多晶硅生产技术 - 1．多晶硅生产技术发展过程　　多晶硅一般是通过把硅矿石变成挥发性硅化合物，然后通过精馏提纯获得硅材料。主要的多晶硅生产技术选择经过数十年的研究和生产