高频隐藏式压电驱动MEMS微镜研究的开题报告

高频隐藏式压电驱动MEMS微镜研究的开题报告一、选题背景与意义微型电机系统（MEMS）广泛应用于光学、机械、电子、生物等领域，其中微型镜片的研究是MEMS技术中研究的重点之一。MEMS微镜一般采用电力