电容屏Sensor制造流程工艺说明书教案资料

工程顺序：• X 轴架桥(EOC 光阻)→…SPTMo-Al-Mo→†Etch Mo-Al-Mo→‡保护层(EOC 光阻)以下是各工程制程细部解说：第一道工程是 BM (Black Matrix)，制