基于Faster R-CNN的光刻热点检测

基于Faster R-CNN的光刻热点检测基于Faster R-CNN的光刻热点检测摘要：随着集成电路制造技术的不断发展，光刻热点的检测变得越来越重要。光刻热点是指在光刻过程中潜在的制造缺陷或不良现象