我国IC产业现状发展前景及专用设备发展建议

我国IC产业现状发展前景及专用设备发展建议葛劢冲 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601)摘要：概述了国内IC产业现状、发展前景及其专用设备现状与发展前景，针对我国IC专用设备的现状