离子注入与离子交换平面和条形光波导的制备及其特性研究的综述报告

离子注入与离子交换平面和条形光波导的制备及其特性研究的综述报告光波导作为集成光学器件中重要的一种，已经在光通信、光计算和生物医学等领域得到了广泛应用。其中，平面和条形光波导是最常用的两种光波导，因其尺