离子注入技术的介绍

离子注入技术的介绍离子注入技术就是将某种元素原子经过电离生成离子，并将离子放置在几十至几百千伏电压下使其进行加速，在获得较高的速度后射入事先放在真空靶室中的材料表面地一种离子束技术。离子注入机是集成的