简述IC行业中超纯水系统的运用

简述IC行业中超纯水系统的运用在电子行业中，IC特征尺寸不断缩小，使得出产过程中超 纯水的水质要求也愈来愈高。电子工厂洁净厂房设计中纯水供给 是重要内容之一，各种电子产品出产工艺对纯水水质、水量要求