真空蒸发镀膜法

- 第二章 真空蒸发镀膜法 - §2-1 真空蒸发原理 §2-2 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 §2-3 蒸发源的类型 § 2-4 合金及化合物的蒸发 §2