激光干涉测量技术1

- 概要 - 干涉测量是以光波干涉原理为基础来进行测量的一门技术。干涉测量技术大都是非接触测量，具有很高的测量灵敏度和精度。干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形