多晶硅铸锭技术及设备

- 多晶硅锭定技术及设备 - 一、前言 二、多晶硅锭的组织结构 三、定向凝固时硅中杂质的分凝 四、多晶硅锭定向凝固生长方法 五、热交换炉型