剪切流传感器结构优化与性能测试的开题报告

剪切流传感器结构优化与性能测试的开题报告一、研究背景及意义剪切流传感器是一种常用的流量测量传感器，广泛应用于液体和气体的流量测量中。剪切流传感器通常是由由一组集成电路芯片和一组微机电系统（MEMS）制