真空溅射氮化钛的研究

真空溅射氮化钛的研究真空溅射氮化钛的研究摘要：氮化钛是一种具有广泛应用前景的材料，它具备良好的高温力学性能和优异的化学稳定性。本文通过真空溅射方法制备氮化钛薄膜，并对其结构、成分和性能进行了详细研究。