GaAs气相掺杂外延的研究

GaAs气相掺杂外延的研究GaAs气相掺杂外延的研究摘要：GaAs是一种重要的半导体材料，具有广泛的应用前景。为了提高其电学、光学性能以及应用范围，研究人员通过气相掺杂外延的方法来改善GaAs材料的特