真空阴极弧技术制备锆基复合薄膜的研究的综述报告

真空阴极弧技术制备锆基复合薄膜的研究的综述报告锆基复合薄膜广泛应用于先进的微电子器件制造中。其中的关键技术是真空阴极弧技术，该技术适用于制备各种高质量的复合薄膜。本文将综述真空阴极弧技术制备锆基复合薄