InGaAs探测器制备的ICP刻蚀方法研究

InGaAs探测器制备的ICP刻蚀方法研究近年来，InGaAs探测器在光电子学领域得到了广泛的应用，它具有高灵敏度、高速度和高分辨率等优点。然而，制备高质量的InGaAs探测器是一个挑战性的任务，需要