EB-PVD制备热障涂层完整介绍

电子束物理气相沉积（EB-PVD）技术制备热障涂层技术黄升 摘要：本文介绍电子束物理气相沉积（EB-PVD）制备热障涂层技术，结合发展历程综述其 技术原理、设备构造及工艺特点。关键词：电子束物理气相沉