半导体上电沉积Bi,Bi-Ni,Bi-Co-Tm合金的研究

半导体上电沉积Bi,Bi-Ni,Bi-Co-Tm合金的研究* 摘要 本文是从原有的较为成熟镀铜的工业配方出发，对其用量进行改良，特别是镀液的pH值调试、络合剂的使用和还原剂的用量，在硅片上沉积出一层