细长孔脉冲电化学扩孔装置设计及试验研究的开题报告

细长孔脉冲电化学扩孔装置设计及试验研究的开题报告一、选题背景及意义随着微电子技术的飞速发展，芯片制造工艺日趋复杂，对芯片的制造精度和性能提出了更高的要求。当今的芯片尺寸越来越小，而且需要实现更高的集成