MEMS高g值加速度传感器研究的中期报告

MEMS高g值加速度传感器研究的中期报告本次中期报告基于MEMS高g值加速度传感器的研究进展。我们的目标是开发一种能够测量高g值的 MEMS 加速度计，以满足航空航天、军事和运动等领域的需求。在研究中