甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析的任务书

甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析的任务书任务书一、任务背景和目的容性耦合等离子体（Capacitively Coupled Plasma, CCP）是一种常用的等离子体激发方法。CCP 中