洁净室检测规范

附录六     洁净室综合性能检测方法  一、过滤器检漏 １对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和采样量最小为１Ｌ燉ｍｉｎ的粒子