硅微机械陀螺仪数字化检测电路研究的中期报告

硅微机械陀螺仪数字化检测电路研究的中期报告本项目旨在研究硅微机械陀螺仪数字化检测电路，在完成了初步的研究后，现在进行中期报告。第一部分：背景和研究意义硅微机械陀螺仪是一种基于微纳技术制造出的微型仪器，