静电驱动MEMS变截面梁系统级建模方法研究的中期报告

静电驱动MEMS变截面梁系统级建模方法研究的中期报告本篇报告旨在介绍静电驱动MEMS（微机电系统）变截面梁系统级建模方法的研究进展，包括研究目的、方法、结果和讨论。1. 研究目的静电驱动MEMS变截面