硅中离子注入硫属元素引入深能级的研究的开题报告

硅中离子注入硫属元素引入深能级的研究的开题报告1.研究背景和意义硅材料在现代信息技术、半导体、集成电路等方面得到了广泛的应用。然而，硅材料的电学性质受到限制，因为其禁带宽度较大，不易产生电子空穴对，从