荷电粒子束辐照作用下若干光学器件及半导体材料的微观结构和性能

荷电粒子束辐照作用下若干光学器件及半导体材料的微观结构和性能荷电粒子束辐照是一种重要的材料改性技术，它可以通过高能量的粒子束对材料进行定向辐照，从而改变材料的微观结构和性能。这种技术在光学器件和半导体