真空及气路系统图

真 空 及 气 路 系 统 图 MFC2MFC1MFC3MFC4R-DF1R-DF2机械泵R1机械泵R2电磁阀阀DF2DF3DF4DF1分子泵2截止阀分子泵1闸板阀放空阀V1挡板阀节流挡板阀V2V3真