4金属薄膜电阻率的测量

5 金属薄膜电阻率的测量一． 实验目的 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。二． 实验仪器RTS-5 型双电测四探针测试仪三． 实验原理双电测