基于MEMS三维角度测量系统

基于MEMS三维角度测量系统基于MEMS三维角度测量系统摘要：MEMS（微机电系统）技术是一种融合了微电子技术、微机械技术和传感器技术的新兴技术。它具有体积小、功耗低、集成度高、成本低等优点。本论文研