椭偏测厚仪主要参数及工作原理

“椭偏测厚仪”有关情况介绍引言： 椭偏法是一种测量光在样品表面反射后偏振状态改变的广西方法，它能够同时测得样品薄膜的厚度和折射率。由于此法具有非接触性、非破坏性以及高灵敏度、高精度等优点，鼓广泛