精密超精密加工技术研究论文

精密超精密加工技术摘要：超精密加工是多种技术综合的一种加工技术，是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。根据当前国内外超精密加工技术的发展状况，对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复