年产1吨超净高纯试剂项目建议书

发展超大规模集成电路用超净高纯试剂的项目（一） 项目介绍1.超净高纯试剂－微电子技术的支柱微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路(IC)微细加工制作的一系列蚀刻和处理技术,其中集成电路,特别是大规