低压射流辅助激光刻蚀的试验研究及数值模拟

低压射流辅助激光刻蚀的试验研究及数值模拟低压射流辅助激光刻蚀的试验研究及数值模拟摘要：激光刻蚀是一种常用的微细加工技术，具有高精度、无机械接触和可控性好等优点。然而，激光刻蚀常常存在热影响区域大、表面