SJ T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底-征求

ICS 29.045CCS H 83SJ中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准SJ/TXXXXX—XXXX功率器件用Φ150 mm n 型碳化硅衬底Ф150 mm n-type silic