半导体晶片 扩散 用高纯碳化硅晶舟的产业化研究

半导体晶片扩散用高纯碳化硅晶舟的产业化研究半导体晶片扩散用高纯碳化硅晶舟的产业化研究2010-12-2814:56晶舟是用于半导体器件制造工艺的关键部件。要求材料高温强度优异、半导体级的纯度、导热率高