TFT-LCD工艺流程

第二章TFT显示器的制造工艺流程和工艺环境要求第一节 阵列段流程 一、主要工艺流程和工艺制程 （一）工艺流程 （二）工艺制程1、成膜：PVD、CVD 2、光刻：涂胶、图形曝光、显影 3、刻