浸没光刻机浸液温控实验装置设计与分析

浸没光刻机浸液温控实验装置设计与分析浸没光刻技术是当前集成电路制造比较先进的技术，分辨率、套刻精度和产率是其关键性能指标，而浸没系统的浸液温度、压力和流量是影响其性能指标的关键因素之一。本文主要研究浸