感应耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜的任务书

感应耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜的任务书任务书一、任务背景多晶硅薄膜广泛应用于光电子、计算机和半导体等领域，具有重要的应用价值。传统的多晶硅薄膜制备方法主要是化学气相沉积法（CVD）。